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ST-21型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標準和美國A.S.T.M標準,專門測量半導體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器,可用于測量一般半導體材料、導電薄膜(ITO透明氧化膜),金屬薄膜……等同類物質的薄層電阻。
該儀器以大規模集成電路為主要核心;用基準電源和運算放大器組成高精度穩流源;帶回路有效正常指示電路;并配以大型LCD顯示讀數,使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點。
ST-21型方塊電阻測試儀特點:
采用大規模集成電路作為儀器的主要部分,測量準確穩定,低功耗;
以大屏幕LCD顯示讀數,直觀清晰;
采用單個電池供電,帶電池欠壓指示;
體積≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g;
特制之手握式探筆,球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護薄膜
探頭帶抗靜電模塊
測量范圍
按方塊電阻量值大小分為二個量程檔:
1.方塊電阻 1.00~199.99Ω/□;
2.方塊電阻 10.0~1999.9Ω/□;
小分辨率:0.01Ω/□
橫流源:測量過程誤差:≤±0.8%
模擬轉換器:量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕顯示;極性,超量程均自動顯示;小數點同步顯示;
測量不確定度:在整個量程范圍內,測量不確定度≤5%
四探針探頭規格:間距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;絕緣電阻≥500MΩ
電源9V疊層電池1節